掃描俄歇微探針（SAM）； 基本功能：
?。?）可進(jìn)行樣品表面的微區(qū)選點(diǎn)分析（包括點(diǎn)分析，線分析和面分析）；
?。?）可進(jìn)行深度分析；
（3）化學(xué)價(jià)態(tài)研究
用途：
納米薄膜材料，微電子材料的表 面和界面研究及摩擦化學(xué)研究。
?。?）可進(jìn)行樣品表面的微區(qū)選點(diǎn)分析（包括點(diǎn)分析，線分析和面分析）；
?。?）可進(jìn)行深度分析；
（3）化學(xué)價(jià)態(tài)研究
用途：
納米薄膜材料，微電子材料的表 面和界面研究及摩擦化學(xué)研究。
