數(shù)碼顯微鏡為了要電子束在樣品表面上掃描，必須在顯微鏡區(qū)以外的無(wú)場(chǎng)空間中，使用附加的掃描線圈，在線圈中通以電流從而使原來(lái)沿直線行進(jìn)的電子軌跡發(fā)生偏轉(zhuǎn).顯微鏡如果把光軸方向稱為Z軸，則數(shù)碼顯微鏡狀掃描就是指電子束既有X方向的掃描(行掃)，又有y方向的掃描(禎掃).根據(jù)Lorentz力的原理可知，橫向磁場(chǎng)H，顯微鏡可使縱向運(yùn)行的電子束受到X方向的偏轉(zhuǎn)，而另一種橫向磁場(chǎng)H二可引起電子束的Y方向偏轉(zhuǎn)。如果掃描線圈中的電流呈鋸齒波形式。則顯微鏡的偏轉(zhuǎn)It將從零開始逐漸加大，至某一定值后又立刻回到原來(lái)的零位移。鋸齒波的周期T對(duì)應(yīng)于一次行掃或偵掃。顯微鏡行掃周期Tn比幀掃周期TV小得多。兩者的比值決定了電子束在樣品上掃描的一幀中所包含的行數(shù)，也稱為掃描光柵的線數(shù)N，N=T,MIT行.因?yàn)閽呙桦婄R中采用的工作距離很小，故掃描線圈只能放在末透鏡的物方空間，即讓電子束進(jìn)入該透鏡場(chǎng)區(qū)之前;先受到橫向偏轉(zhuǎn)。為了使沿軸射來(lái)的數(shù)碼顯微鏡都能參與成像，而不致被偏轉(zhuǎn)一次就打到鏡筒壁或其他組件上.所以電鏡中應(yīng)該采用上、下兩組掃描線圈(每組均包括X和Y偏轉(zhuǎn)的二個(gè)線圈)，使數(shù)碼顯微鏡偏轉(zhuǎn)兩次后在末光闌孔中心處與光軸相交，并進(jìn)入透鏡場(chǎng)區(qū)。
前面已經(jīng)提到:偏光顯微鏡樣品上電子束的掃描與顯像管中電子束的掃描嚴(yán)格同步。所以顯像管熒光屏上的圖樣是徉品被掃描區(qū)的放大像。顯微鏡設(shè)顯像管熒光屏的寬度為B。它是固定值(如B=10cm)油代表樣品上被掃區(qū)的寬度，則掃描像的放大倍數(shù)為:它基本上取決于顯像管中偏轉(zhuǎn)線圈電流與鏡筒中掃描線圈電流之比。實(shí)際的情況是:顯微鏡中偏轉(zhuǎn)線圈電流值保持恒定，它通過(guò)一個(gè)衰減網(wǎng)絡(luò)與鏡筒中掃描線圈串聯(lián)。所以偏光鏡筒中的掃描電流值較小，而且可以靈活改變。這樣顯微鏡圖像的放大倍數(shù)就可以很方便地變動(dòng)。此外，在選定掃描電流檔以后，改變樣品所處的工作距離，也可改變樣品上被掃區(qū)的寬度，從而調(diào)節(jié)偏光顯微鏡圖像的放大倍數(shù)。
