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公司基本資料信息
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特長(zhǎng)
● 潔凈的真空
● 腔體內(nèi)沒有潤(rùn)滑油，對(duì)水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能
● 能在高吸入壓強(qiáng)下運(yùn)作
用途
◆ 照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體
◆ 鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入
◆ 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
◆ 真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐
◆ 分析儀器、檢漏設(shè)備、CO2激光設(shè)備
| 機(jī) 型 | NB100B | NB300B | NB600B | NB1200B | |
| 抽氣速率*3 | 50Hz | 95(1580) | 280(4670) | 500(8330) | 1000(16667) |
| | 60Hz | 115(1920) | 330(5500) | 600(10000) | 1200(20000) |
| 吸入壓力 Pa | 50Hz | 1.3×103 | 1.2×103 | 1.3×103 | |
| | 60Hz | 1.3×103 | 9.3×102 | 1.1×103 | |
| 允許壓力差 Pa | 50Hz | 8.0×103 | 4.0×103 | 7.3×103 | |
| | 60Hz | 6.7×103 | 3.3×103 | 6.0×103 | |
| 極限壓力 Pa*1 | 4.0×10‐1 | 6.7×10‐1 | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵 | GLD-N280 | VDN401 | VSN1501 | VSN1501 | |
| 電 機(jī) | kW (極) *2 *4 | 0.4（2） | 0.75（2） | 2.2（2） | 3.7(2) |
| | V-Hz | 380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz | |||
| 使 用 油 | ULVOIL® R-4 | ||||
| 所需油量 L | 0.35 | 0.70 | 1.50 | 1.90 | |
| 冷卻水量 L/min*6 | 空 冷 | 2 *5 | 2 | 3 | |
| 進(jìn)水壓力 MPa | － | | 0.3 | | |
| 進(jìn)出水壓差 MPa | － | 0.05 | 0.1 | ||
| 重 量 kg | 24 | 49 | 77.5 | 110 | |
| 吸氣口徑 (JIS B 2290) | 相當(dāng) VG50 | 相當(dāng) VG80 | 相當(dāng)VG80 | 相當(dāng)VG100 | |
| 排氣口徑 (JIS B 2290) | 相當(dāng)VF50 | 相當(dāng)VF80 | 相當(dāng)VF80 | 相當(dāng)VF80 | |
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